然而胡文海敢扔出论文当然不会毫无准备，蓝光led的专利他早就已经在全球进行了注册。只不过当时国内还不具有生产条件，所以暂时耽搁了下来。
到了1990年，新科电子研究院与帝都原子能科学研究院进行合作，开发的一氟化氪（krf）激光光源终于能够满足要求，装备到了“新江（新科、江光总厂）微电子所”研发的第三代投影曝光光刻机上，完成了亚微米光刻机自产的最后一步。
被命名为流光3.1的投影光刻机，实现了完全100%的国产化。从镜头到机械，从光源到系统，全部都是由国内厂家配套生产。干法光刻节点1微米，采用浸入式和光学邻近效应矫正等技术后，工艺节点可达到0.8微米级别。
至此，蓝光led的生产技术已经万事俱备。相较于传统照明技术，led照明的优势相当明显。
一片蓝海，正要在胡文海的描绘下，对夏雪宜和帝都显像管厂徐徐展开。
本章完
本站网站:www.123shuku.com
到了1990年，新科电子研究院与帝都原子能科学研究院进行合作，开发的一氟化氪（krf）激光光源终于能够满足要求，装备到了“新江（新科、江光总厂）微电子所”研发的第三代投影曝光光刻机上，完成了亚微米光刻机自产的最后一步。
被命名为流光3.1的投影光刻机，实现了完全100%的国产化。从镜头到机械，从光源到系统，全部都是由国内厂家配套生产。干法光刻节点1微米，采用浸入式和光学邻近效应矫正等技术后，工艺节点可达到0.8微米级别。
至此，蓝光led的生产技术已经万事俱备。相较于传统照明技术，led照明的优势相当明显。
一片蓝海，正要在胡文海的描绘下，对夏雪宜和帝都显像管厂徐徐展开。
本章完
本站网站:www.123shuku.com