“哦，真复杂！”李秀成做出一脸我很懵的表情，然后话锋一转道：“但我大致抓到了两个重点，光源、物镜折射率！
想要提升芯片的生产效率和良率，是必须要同时发展光刻机的内部构造和工作模式。
那么我们可以从整体因素考虑，为什么不换一种光源，然后再换一种折射介质？”
“嗯？”周宏回过神来，有些奇怪的说道：“现在光线就G线和I线两种，波长在三百多到四百左右，确实比较大，而且国际上的公同认知是在193nm缩短到157nm制程时会出现瓶颈。
但折射介质是什么说法？”
见周宏来了兴趣，李秀成嘴角微勾然后迅速恢复原状。
这也就是现在的干式微影光刻机和浸没式光刻机的最大区别了！
他故意做出一脸不确定的说道：“光线我觉得可以多做试验，把什么XYZ射线啊，紫外线，极光都试试，总能找到最合适的。
本章完
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想要提升芯片的生产效率和良率，是必须要同时发展光刻机的内部构造和工作模式。
那么我们可以从整体因素考虑，为什么不换一种光源，然后再换一种折射介质？”
“嗯？”周宏回过神来，有些奇怪的说道：“现在光线就G线和I线两种，波长在三百多到四百左右，确实比较大，而且国际上的公同认知是在193nm缩短到157nm制程时会出现瓶颈。
但折射介质是什么说法？”
见周宏来了兴趣，李秀成嘴角微勾然后迅速恢复原状。
这也就是现在的干式微影光刻机和浸没式光刻机的最大区别了！
他故意做出一脸不确定的说道：“光线我觉得可以多做试验，把什么XYZ射线啊，紫外线，极光都试试，总能找到最合适的。
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